Как струйная обработка сухим льдом меняет производство полупроводников

В быстро развивающемся-мире производства полупроводников чистота — это все. Даже одна частица размером всего 1 микрон-намного меньше пылинки-может привести к выходу чипа из строя, что приведет к дорогостоящим дефектам и браку продукции. Поскольку характеристики чипов сжимаются до наноуровней, потребность в ультра-чистых производственных средах возрастает как никогда.

Традиционные методы очистки полупроводников, такие как влажная химическая очистка, ультразвуковые ванны или плазменное травление, хорошо послужили отрасли, но все чаще терпят неудачу. Эти подходы часто включают в себя агрессивные химические вещества, приводят к образованию вторичных отходов, требуют длительного простоя оборудования и рискуют повредить хрупкие компоненты-все это приводит к увеличению времени простоя, увеличению затрат и экологическим проблемам.

Именно здесь струйная очистка сухим льдом становится решением,-меняющим правила игры. Эта инновационная не-технология абразивной очистки быстро становится предпочтительным методом ухода за прецизионным оборудованием в производстве полупроводников. В этой статье мы рассмотрим, как струйная очистка сухим льдом обеспечивает очистку-без остатков, повышает эффективность производства и помогает производителям достигать строгих целей в области качества и устойчивого развития.

Что такое струйная очистка сухим льдом?

Струйная очистка сухим льдом(также известный какCO₂-струйная очистка) — это простой, но эффективный процесс очистки. В нем используются твердые частицы CO₂-гранулы сухого льда, охлажденные до -78 градусов, которые приводятся в движение на высокой скорости с помощью сжатого воздуха.

При ударе частицы сухого льда мгновенно сублимируются, превращаясь из твердого состояния в газ. Это быстрое расширение удаляет загрязнения с поверхности за счет сочетания кинетической энергии и теплового удара, не оставляя после себя никаких следов.

К основным преимуществам очистки сухим льдом относятся:

• Не-абразивный: бережно относится к деликатным поверхностям, предотвращает появление царапин и травления.
• Без остатков-: никаких вторичных отходов, поскольку сухой лед просто превращается в газ.
• Никаких химикатов: устраняется необходимость в растворителях или агрессивных агентах.
• Экологичность: используется переработанный CO₂ и не образуются дополнительные потоки отходов.

Вот краткое сравнение с распространенными традиционными методами, используемыми для очистки полупроводников:

Как видите, струйная обработка сухим льдом отличается чистотой и эффективностью,-что делает ее идеальной для требований точности в производстве полупроводников.

Применение струйной обработки сухим льдом в производстве полупроводников

Струйная очистка сухим льдом универсальна и превосходна во многих критических областях производства полупроводников, где даже незначительное загрязнение может снизить производительность. Вот некоторые основные приложения:

• Удаление фоторезиста с пластин: аккуратно удаляет органические остатки и легкие слои фоторезиста, не повреждая хрупкие поверхности пластин.
• Очистка пресс-форм и приспособлений: удаляет скопления воска, остатки газа и загрязнения из литьевых форм и инструментов, используемых для упаковки чипов.
• Удаление отложений и остатков газа: Очищает накопившиеся материалы от технологических инструментов без попадания влаги или частиц.
• Очистка вакуумной камеры, камеры осаждения и оборудования для травления: глубокая-очистка чувствительных внутренних частей, включая CVD-реакторы и инструменты для полировки, сохраняя при этом точную геометрию.
• Системы обработки пластин и обслуживание конвейеров: защищает роботизированные манипуляторы, конвейерные ленты и другие движущиеся части от пыли и мусора.

Эти задачи точной очистки значительно выигрывают за счет не-непроводящей и сухой природы сухого льда, что позволяет проводить уборку в чистых помещениях без риска возникновения электростатических разрядов или проблем, связанных с влажностью-.

Как струйная очистка сухим льдом меняет производство полупроводников

Реальная сила струйной обработки сухим льдом заключается в ее способности решать самые большие проблемы отрасли. Вот как это приводит к значимым изменениям:

Значительно сокращает время простоя оборудования

Традиционная очистка часто требует использования охлаждающего оборудования, разборки и длительного времени сушки. Струйную очистку сухим льдом можно часто выполнять-на месте и онлайн, что сокращает циклы очистки с часов до минут и сводит к минимуму перерывы в производстве.

Повышает выход стружки и эффективность производства

Более тщательно и последовательно удаляя загрязнения, очистка сухим льдом помогает уменьшить количество дефектов и доработок. Производители сообщают о более высокой производительности и общей эффективности оборудования.

Обеспечивает действительно не-абразивную очистку чувствительных компонентов.

Деликатные пластины, фотошаблоны и инструменты остаются неповрежденными, сохраняя жесткие допуски, необходимые для сложных узлов (например, 3 нм и ниже).

Соответствует строгим экологическим нормам и целям ESG

Благодаря отсутствию химикатов, сточных вод и вторичных отходов струйная очистка сухим льдом обеспечивает экологически ответственную очистку,-соответствующую растущим требованиям устойчивого развития в производстве полупроводников.

Обеспечивает существенную экономию средств по сравнению с традиционными методами.

Снижение потребности в рабочей силе, снижение платы за утилизацию отходов, меньший износ оборудования и сокращение времени простоя — все это способствует впечатляющей экономии затрат на струйную очистку сухим льдом.

В реальных условиях-на предприятиях время уборки сократилось почти на 70 %, что привело к соответствующему увеличению производительности и операционной эффективности.

Реальные-мировые примеры и данные

Преимущества струйной обработки сухим льдом в производстве полупроводников не просто теоретические:-ведущие предприятия по всему миру уже видят впечатляющие результаты.

• Пример 1: Крупный завод по производству пластин

Ведущий мировой литейный завод перешел на очистку камер осаждения и оснастки сухим льдом. Время очистки оборудования резко сократилось-с примерно 8 часов при использовании традиционных методов до всего 2 часов. Это привело к сокращению времени простоя на 70%, что позволило увеличить количество производственных циклов и значительно повысить производительность.

• Случай 2: Фоторезист и удаление остатков

На другом предприятии, специализирующемся на усовершенствованных узлах, струйная очистка сухим льдом повысила эффективность удаления фоторезиста почти в 3 раза по сравнению с влажными химическими процессами. Уровень дефектов заметно снизился, что способствовало повышению общего качества чипов и уменьшению количества бракованных пластин.

Отзывы и отчеты отрасли подтверждают эти достижения: многие предприятия по производству полупроводников, использующие струйную очистку сухим льдом, сообщают об улучшении производительности на 15-25 %, сокращении затрат на очистку на 30 -50 % и более быстром возврате к производству благодаря очистке на месте. Эти реальные результаты подчеркивают надежное и измеримое влияние этой технологии на эффективность и прибыльность.

Почему струйная очистка сухим льдом заменяет традиционные методы

По мере того как полупроводниковые процессы стремятся к более тонким характеристикам,-таким как узлы 3 и 2 нм-, устойчивость к загрязнению сводится почти к нулю. Традиционные подходы к очистке с трудом справляются с задачей, в то время как струйная очистка сухим льдом становится предпочтительным стандартом точности и устойчивости.

Вот прямое сравнение:

Струйная очистка сухим льдом выигрывает, поскольку обеспечивает тщательную очистку без недостатков старых методов. Он позволяет избежать вторичных отходов, исключает использование агрессивных химикатов и защищает деликатное оборудование-идеально подходит для тенденций в области технологий очистки полупроводников, требующих более высокой чистоты, меньшего воздействия на окружающую среду и минимальных перерывов в производстве.

Как правильно выбрать оборудование для струйной обработки сухим льдом для производства полупроводников

Выбор лучшего оборудования для очистки полупроводников сухим льдом сводится к тому, чтобы оно соответствовало вашим конкретным потребностям в условиях высокой-точности.

Ключевые факторы, которые следует учитывать:

• Точность контроля давления: низкие и регулируемые настройки (вплоть до очень бережного уровня) для безопасной очистки чувствительных пластин, масок и камер без риска повреждения.
• Регулировка размера частиц: системы, которые позволяют варьировать размер частиц сухого льда для любых задач: от легкого запыления поверхности до более глубокого удаления загрязнений.
• Совместимость с чистыми помещениями: HEPA-фильтрация, не-проводящие материалы и конструкции, предотвращающие проникновение частиц.
• Уровень автоматизации: варианты интеграции роботов или портативных устройств, в зависимости от того, выполняете ли вы уборку в процессе-или во время технического обслуживания.

Для большинства полупроводниковых применений идеально подходит прецизионный пескоструйный аппарат сухого льда низкого-давления. Эти машины обеспечивают точное-настроенное управление, надежную работу в чистых помещениях и эффективное использование сухого льда-, что помогает соблюдать жесткие допуски и обеспечивает бесперебойную работу.

Ищете надежного производителя машин для струйной обработки сухим льдом?

YJCO2 — ведущий китайский производитель оборудования для струйной обработки сухим льдом, которому доверяют более 3000 клиентов по всему миру,-включая более 70 публично зарегистрированных компаний в Китае. Являясь одобренным поставщиком Foxconn и единственным брендом очистки сухим льдом, выбранным для электронного супермаркета China Aerospace, YJCO2 известен своей проверенной надежностью в высокотехнологичных средах.

Промышленная машина для очистки сухого льда YJ-09 - Идеально подходит для очистки полупроводников:

• Компактный дизайн (75×56×95 см, 80 кг) с колесами для легкого перемещения в тесных чистых помещениях.
• Мощный импортный двигатель мощностью 500 Вт, который удваивает скорость и давление льда по сравнению со стандартными моделями.
• Специальный шланг диаметром 38 мм, устойчивый к низким-температурам-и полностью-алюминиевая плоская-насадка для горловины для постоянной подачи большого-объема сухого льда.
• Гибкие возможности управления: педальное, ручное, дистанционное или интеграция ввода-вывода.
• Широкая совместимость по напряжению (110–240 В) для использования по всему миру.

Свяжитесь с нами сейчас, чтобы получить конкурентоспособное предложение!

Заключение

Струйная очистка сухим льдом фундаментально меняет подход к очистке в производстве полупроводников. Оно обеспечивает более быстрый, безопасный и-безотходный способ обслуживания оборудования, повышая производительность, сокращая время простоев и соблюдая жесткие экологические стандарты-и при этом защищая хрупкие компоненты.

Если вы хотите повысить эффективность, снизить затраты и обеспечить более высокое качество продукции на своей производственной линии, это может быть решение для очистки полупроводников сухим льдом, которое вы искали.

Хотите узнать, подходит ли струйная очистка сухим льдом для вашей установки? Свяжитесь с нами для бесплатной-оценки или демонстрации оборудования на месте-мы здесь, чтобы помочь вам изучить возможности.